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AS600工具鍍膜設備

DLC類金剛石涂層設備

我公司的DLC類金剛石膜的制備方式采用陽極層流性氣體離子源結合非平衡磁控濺射的方法，來獲得納米多層結構的MeC/DLC膜、納米復合結構的Me-DLC膜或單（多）元素摻雜的類金剛石膜...

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詳細介紹

用GIS離子源技術制備DLC類金剛石膜

目前DLC類金剛石膜的制備方法很多，如：離子束輔助沉積、磁控濺射、真空陰極電弧沉積、等離子體增強化學氣相沉積、離子注入法等。我公司的DLC類金剛石膜的制備方式采用陽極層流性氣體離子源結合非平衡磁控濺射的方法，來獲得納米多層結構的MeC/DLC膜、納米復合結構的Me-DLC膜或單（多）元素摻雜的類金剛石膜。

我公司可以用來制備DLC類金剛石膜的設備主要是AS600型和AS500型兩種。

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